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一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构

基本信息

申请号 CN202022189499.9 申请日 -
公开（公告）号 CN213670789U 公开（公告）日 2021-07-13
申请公布号 CN213670789U 申请公布日 2021-07-13
分类号 B08B3/06（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 钱诚;童建;吴清 申请（专利权）人 无锡亚电智能装备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214000江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构，包括箱体、框架和清洗池，所述箱体的内部中间固定安装有清洗池，清洗池的内部顶端设有滚筒，滚筒的表面转动安装有挡板，滚筒的两端固定安装安装有轴杆，轴杆转动安装在框架的内部，所述框架的顶端一侧固定安装有第一马达，第一马达的输出端通过皮带转动连接轴杆，所述框架的顶端中间固定连接在液压缸的输出端，且液压缸固定安装在箱体的外部顶端。本实用新型利用液压缸升起或者降下滚筒，将装有晶圆的滚筒在清洗池内进行进出，而滚筒可由马达转动，这样可让滚筒内部的晶圆能清洗多面，在滚筒升起后由一侧的风扇对其进行吹风，使其快速风干，从而达到了便于工作人员使用的效果。