一种具有清洗功能的半导体晶圆盒
基本信息
| 申请号 | CN202110332602.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113257725A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113257725A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | H01L21/673;B08B5/02;B08B3/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人 | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111-12号国家软件园鲸鱼座C403 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种具有清洗功能的半导体晶圆盒，包括侧板和支撑管，支撑管上设置支撑柱且一侧设置接头，清洗液、水、常温或者加热后的空气或者氮气等流体从接头经过支撑管并从支撑柱处喷出。由于支撑柱作为晶圆片的分割部件，与晶圆片一一对应，因而可以对每个晶圆片均进行清洗，起到了解决晶圆盒内多个晶圆片排列时，晶圆片难以清洗干净的问题。 |
