一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法
基本信息
申请号 | CN202010501775.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111634687A | 公开(公告)日 | 2021-08-10 |
申请公布号 | CN111634687A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
分类号 | B65G49/07;B65G49/06 | 分类 | 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料; |
发明人 | 钱诚;李刚;童建 | 申请(专利权)人 | 无锡亚电智能装备有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 214000 江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构,包括:工作台,第一传输组件,第二传输组件,感应组件;晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽,定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置,所述感应组件包括倾斜滑动块,以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿,所述导向齿在上升时,能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中,此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中,感应齿的侧壁上设置有光电传感器,用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。通过上述设置,能够在进行供料前对晶圆篮内的晶圆进行一次识别。 |
