一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法

基本信息

申请号 CN202010501775.2 申请日 -
公开(公告)号 CN111634687A 公开(公告)日 2021-08-10
申请公布号 CN111634687A 申请公布日 2021-08-10
分类号 B65G49/07;B65G49/06 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 钱诚;李刚;童建 申请(专利权)人 无锡亚电智能装备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214000 江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构,包括:工作台,第一传输组件,第二传输组件,感应组件;晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽,定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置,所述感应组件包括倾斜滑动块,以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿,所述导向齿在上升时,能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中,此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中,感应齿的侧壁上设置有光电传感器,用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。通过上述设置,能够在进行供料前对晶圆篮内的晶圆进行一次识别。