晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202110531540.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113289995A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113289995A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B08B9/08（2006.01）I;B08B9/28（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;霍召军 | 申请（专利权）人 | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道111-12号国家软件园鲸鱼座C403 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了晶圆容纳盒清洗设备，包括用于盛放清洗晶圆容纳盒的清洗槽和管道部件。在清洗过程中，通过管道部件使得晶圆容纳盒内的清洗液和气体从晶圆容纳盒内抽走，防止气体在晶圆容纳盒内聚集，从而防止晶圆容纳盒浮起，清洗液或者气体经过回水管从清洗喷头流出后回流到清洗槽内，实现清洗液循环，防止清洗液的浪费。 |
