一种制备高纯三氟碘甲烷的方法
基本信息
| 申请号 | CN201810628166.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108675914A | 公开（公告）日 | 2018-10-19 |
| 申请公布号 | CN108675914A | 申请公布日 | 2018-10-19 |
| 分类号 | C07C17/389;C07C17/383;C07C19/16 | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 董利;庆飞要;郭占英;贾晓卿 | 申请（专利权）人 | 宇极（廊坊）新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京兆君联合知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡敬红 |
| 地址 | 065001 河北省廊坊市开发区耀华道1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备高纯三氟碘甲烷的方法。原料三氟碘甲烷在一定温度和压力下，以一定流量经过两级吸附柱，除去大部分水以及部分有机杂质后，进入精馏塔中，在低温下进行间歇精馏，塔顶放空除去C1‑C5的卤代烷烃、卤代烯烃、卤代炔烃、氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳等杂质，从而得到纯度大于99.99％的高纯三氟碘甲烷，其中H2O含量低于30ppmv，HF含量低于1ppmw，符合半导体刻蚀和电气绝缘行业要求。该方法工艺合理，操作简单，是制备高纯三氟碘甲烷的理想技术。 |
