一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉
基本信息
申请号 | CN201620335490.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205711032U | 公开(公告)日 | 2016-11-23 |
申请公布号 | CN205711032U | 申请公布日 | 2016-11-23 |
分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰 | 申请(专利权)人 | 宁夏昊晶光电科技有限公司 |
代理机构 | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 黄山市东晶光电科技有限公司;宁夏昊晶光电科技有限公司 |
地址 | 245200 安徽省黄山市屯溪区迎宾大道168号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉,具有主炉腔和副炉腔,所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开,电动挡板阀由炉台控制系统控制开关,在副炉腔左面设有冷却阀,右面设有开启副炉腔的炉门;所述籽晶杆安装在提拉系统上,并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖,最终到达主炉腔的内部。使用时首先缓慢打开电动挡板阀,将籽晶杆提升至副炉腔,而后关闭电动挡板阀,对副炉腔内进行冷却,再对籽晶进行更换,最后抽真空、缓慢下降籽晶杆、预热籽晶,重新引晶。本实用新型能够实现在线更换籽晶,具有能耗低、生产成本低的优点,与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生,确保生产的连续性。 |
