一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201620335490.5 申请日 -
公开(公告)号 CN205711032U 公开(公告)日 2016-11-23
申请公布号 CN205711032U 申请公布日 2016-11-23
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰 申请(专利权)人 宁夏昊晶光电科技有限公司
代理机构 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 代理人 黄山市东晶光电科技有限公司;宁夏昊晶光电科技有限公司
地址 245200 安徽省黄山市屯溪区迎宾大道168号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉,具有主炉腔和副炉腔,所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开,电动挡板阀由炉台控制系统控制开关,在副炉腔左面设有冷却阀,右面设有开启副炉腔的炉门;所述籽晶杆安装在提拉系统上,并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖,最终到达主炉腔的内部。使用时首先缓慢打开电动挡板阀,将籽晶杆提升至副炉腔,而后关闭电动挡板阀,对副炉腔内进行冷却,再对籽晶进行更换,最后抽真空、缓慢下降籽晶杆、预热籽晶,重新引晶。本实用新型能够实现在线更换籽晶,具有能耗低、生产成本低的优点,与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生,确保生产的连续性。