一种晶圆结构及光学生物识别模组

基本信息

申请号 CN202220148066.5 申请日 -
公开(公告)号 CN216698282U 公开(公告)日 2022-06-07
申请公布号 CN216698282U 申请公布日 2022-06-07
分类号 H01L21/027(2006.01)I;G06V10/12(2022.01)I;G06V40/13(2022.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 姜桐;黄昊;刘自涛 申请(专利权)人 上海菲戈恩微电子科技有限公司
代理机构 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 200000上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区高斯路497号2层203室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆结构及光学生物识别模组,包括晶圆基体和排列在晶圆基体上的若干芯片单元,相邻两个芯片单元之间设置切割道,每1芯片单元包括微透镜、红外截止滤光层和消光光阑层,所述切割道上设置有工艺辅助结构。本实用新型解决了因涂胶不均匀使得结构厚度均匀差,从而导致指纹芯片采集图像的像素值不均匀的问题。