一种晶圆结构及光学生物识别模组
基本信息
申请号 | CN202220148066.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216698282U | 公开(公告)日 | 2022-06-07 |
申请公布号 | CN216698282U | 申请公布日 | 2022-06-07 |
分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G06V10/12(2022.01)I;G06V40/13(2022.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 姜桐;黄昊;刘自涛 | 申请(专利权)人 | 上海菲戈恩微电子科技有限公司 |
代理机构 | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 200000上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区高斯路497号2层203室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆结构及光学生物识别模组,包括晶圆基体和排列在晶圆基体上的若干芯片单元,相邻两个芯片单元之间设置切割道,每1芯片单元包括微透镜、红外截止滤光层和消光光阑层,所述切割道上设置有工艺辅助结构。本实用新型解决了因涂胶不均匀使得结构厚度均匀差,从而导致指纹芯片采集图像的像素值不均匀的问题。 |
