一种半导体封装结构制作方法及半导体封装结构

基本信息

申请号 CN202110524945.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113270333A 公开(公告)日 2021-08-17
申请公布号 CN113270333A 申请公布日 2021-08-17
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I;H01L23/482(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李高林 申请(专利权)人 成都奕成科技有限公司
代理机构 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 唐维虎
地址 610000四川省成都市高新区尚阳路12号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种半导体封装结构制作方法及半导体封装结构,包括:提供包括芯片的晶圆,在晶圆的一侧开设针对芯片的I/O口,且通过切割工艺得到分离的芯片,对芯片除I/O口所在的一侧进行塑封,形成保护芯片的塑封体,在芯片的I/O口所在的一侧制作种子层,并基于该种子层制作得到针对I/O口的重布线层和第一导电凸块,并在第一导电凸块上植球,得到半导体封装结构,相较于相关技术中需要提供支撑载体作为芯片的承载件,上述方案无需提供支撑载体即可实现半导体封装结构的制作。