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一种湿法处理设备气密性安装结构

基本信息

申请号 CN202020033584.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212553856U 公开（公告）日 2021-02-19
申请公布号 CN212553856U 申请公布日 2021-02-19
分类号 B25J11/00(2006.01)I; 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 邓信甫;许峯嘉;庄海云;陈佳炜;徐铭 申请（专利权）人 江苏启微半导体设备有限公司
代理机构 上海智力专利商标事务所（普通合伙） 代理人 杜冰云
地址 226299江苏省南通市启东经济开发区林洋路2015号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种湿法处理设备气密性安装结构，包括风机过滤单元、排气机构、阻挡片、设备区段隔离门及机械手臂隔离板，所述湿法处理设备包括并列设置的多个工艺区段，每个所述工艺区段的顶部均设置有用于安装所述风机过滤单元的安装口，所述安装口为矩形且于4个角点位置设置有L形阻挡片，所述风机过滤单元的底部设置有与所述L形阻挡片相匹配的卡合槽，所述风机过滤单元的出风口与所述工艺区段连通，所述机械手臂隔离板沿所述湿法处理设备的长度方向设置，所述排气机构安装于所述工艺区段的底部。本实用新型在湿法处理设备的安装口处设置有L形阻挡片，与风机过滤单元底部的卡合槽相匹配，保证了风机过滤单元安装的气密性。