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一种晶圆盒中转输送装置及中转输送方法

基本信息

申请号 CN202011636183.8 申请日 -
公开（公告）号 CN112736003A 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN112736003A 申请公布日 2021-04-30
分类号 H01L21/677;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 卢证凯;邓信甫;刘大威;陈丁堃 申请（专利权）人 江苏启微半导体设备有限公司
代理机构 上海智力专利商标事务所（普通合伙） 代理人 孙金金;周涛
地址 200241 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆盒中转输送装置及中转输送方法，所述中转输送装置包括中转轨道、中转承载板、衔接轨道、衔接滑块、推动气缸及推动板，所述中转轨道设置于晶圆装载区域的一侧，所述中转轨道的一端与所述晶圆装载区域的晶圆支撑板齐平，所述中转承载板滑动安装于所述中转轨道上，所述衔接轨道设置于晶圆支撑板与所述中转轨道之间，所述衔接滑块滑动安装于所述衔接轨道上，所述推动气缸的底座安装于所述衔接滑块上，所述推动板通过推动臂安装于所述推动气缸的输出端。本发明结构紧凑，不引入新的夹持机构，晶圆盒传输过程简单，通过轨道与滑块的交替协同作用，连接晶圆盒夹持点位于湿法清洗设备的装载区或卸货区，提升了晶圆的清洗效率。