一种超高真空内气体电离装置
基本信息
| 申请号 | CN201910838892.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110699673B | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN110699673B | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/28（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢建臣;许望伟;蔡金明 | 申请（专利权）人 | 云天化集团有限责任公司 |
| 代理机构 | 成都东恒知盛知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 何健雄;廖祥文 |
| 地址 | 650000 云南省昆明市一二一大街文昌路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种超高真空内气体电离装置，将气体传输到超高真空腔体内并用热电离的方式将气体分子电离。该装置由气体导管、电加热丝、绝缘片、螺杆、电源线、四通腔体、直线导入器组成。电加热丝固定在绝缘片上，绝缘片固定在螺杆上，螺杆与直线导入器相连接。通过直线导入器，可以使电加热丝沿螺杆方向自由移动，进而控制加热丝与目标样品的距离。电源线一端连接电加热丝，一端连接在法兰的电极接线柱上，外接直流源通过电极接线柱为加热丝供电。使用装置时，通过直线导入器移动电加热丝至气体导管口附近，接通电源加热电加热丝，电加热丝达到使用温度后，通过气体导管导入气体，气体分子被高温电加热丝热电离成原子或离子。 |
