一种用于滤波片的镀膜光刻方法
基本信息
| 申请号 | CN202111086543.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113960888A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113960888A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;G03F7/16（2006.01）I;G03F7/40（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张威;马帅;周常河;丁自强;谢才林 | 申请（专利权）人 | 江苏星浪光学仪器有限公司 |
| 代理机构 | 合肥锦辉利标专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈铄 |
| 地址 | 225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区中心大道118号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及滤波片加工技术领域，具体为一种用于滤波片的镀膜光刻方法，包括对滤波片的清洁、镀膜、烘干和光刻加工处理，本发明是通过在机箱的左侧设置清洁仓，在将放料架推入机箱内部之前，利用清洁仓内部的离子束发生器对滤波片的表面进行清洁处理，保证滤波片在进入机箱内部后表面干净，接着将经过清洁处理后的滤波片送入机箱的内部，在机箱的内部对滤波片的表面依次进行光刻胶膜加工、光刻和滤波膜加工，完成滤波片的镀膜光刻处理，滤波片的整个加工过程均位于机箱的内部，利用机箱隔绝外界的污染，保证滤波片在进行镀膜光刻的加工过程中不会受到外界污染，进而有效提高对滤波片的加工成品质量，降低滤波片加工后的报废率。 |
