一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块
基本信息
| 申请号 | CN201720624380.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206712795U | 公开（公告）日 | 2017-12-05 |
| 申请公布号 | CN206712795U | 申请公布日 | 2017-12-05 |
| 分类号 | H04B10/40(2013.01)I;H04B10/25(2013.01)I;H04Q11/00(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 刘柳;周旋;时尧成 | 申请（专利权）人 | 绍兴柯芯光电技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 312000 浙江省绍兴市柯桥区科技园办公楼A幢603-604室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为：利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°内端面；采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点；再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合，同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶；最后通过倒装焊接的方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于内端面狭缝之上，本实用新型低成本，高速率，可实现多通道传输数据。 |
