一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201710402720.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108988950A | 公开（公告）日 | 2018-12-11 |
| 申请公布号 | CN108988950A | 申请公布日 | 2018-12-11 |
| 分类号 | H04B10/40;H04B10/25;H04Q11/00 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 刘柳;周旋;时尧成 | 申请（专利权）人 | 绍兴柯芯光电技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 312000 浙江省绍兴市柯桥区科技园办公楼A幢603-604室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块及其制备方法，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为：利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°内端面；采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点；再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合，同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶；最后通过倒装焊接的方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于内端面狭缝之上，本发明低成本，高速率，可实现多通道传输数据。 |
