一种择优取向的钽靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010191434.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111519147B | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN111519147B | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C22F1/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈燕飞;赖华生;张金祥;文小强;袁德林;王玉香;郭春平;普建;刘雯雯;周有池 | 申请（专利权）人 | 赣州有色冶金研究所有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 刘潇 |
| 地址 | 341000 江西省赣州市经济技术开发区迎宾大道62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种择优取向的钽靶材及其制备方法。本发明通过扭转变形控制钽锭内部织构取向，通过扭转使钽锭内产生沿直径方向的切向变形，进而使钽锭内部织构方向发生定向改变，从而达到控制材料织构的目的，本发明通过扭转变形能够提高靶材组织的均匀性、降低靶材的晶粒尺寸、提高（111）、（100）织构占优的组分比例；并且本发明提供的制备方法无需对钽锭进行锻打和轧制，能够减少混入靶材内部的杂质含量。 |
