晶圆盒输送装置
基本信息
| 申请号 | CN201710149815.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106876312A | 公开（公告）日 | 2017-06-20 |
| 申请公布号 | CN106876312A | 申请公布日 | 2017-06-20 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴功 | 申请（专利权）人 | 大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司 |
| 代理机构 | 上海翰信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司;上海大族富创得科技有限公司 |
| 地址 | 201114 上海市闵行区苏召路1628号2幢1034室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种晶圆盒输送装置，包括承载机构、平移机构和输送机构，其中，承载机构用于放置晶圆盒，平移机构用于带动所述承载机构分别在第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向平移，输送机构用于输送平移机构，第一轴方向、第二轴方向和第三轴方向构成空间笛卡尔直角坐标系或空间笛卡尔斜角坐标系，通过了承载机构和输送机构结合的方式，直接由输送机构移至开门器前，并通过平移机构将晶圆盒准确的送到开门器上，因此省去了人工或机械搬运晶圆盒之一步骤，提高了效率，降低了成本，且自动化程度高。 |
