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全封闭式SMIF系统

基本信息

申请号 CN201710192002.9 申请日 -
公开（公告）号 CN106684023A 公开（公告）日 2017-05-17
申请公布号 CN106684023A 申请公布日 2017-05-17
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 吴功 申请（专利权）人 大族激光科技产业集团股份有限公司上海分公司
代理机构 上海翰信知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张维东;宋力
地址 201114 上海市闵行区苏召路1628号2幢1034室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种全封闭式SMIF系统，因为前进板上设置有第一气嘴孔，承载平台上安装有气嘴，容器底部设置有进气孔和压力排气阀，能够将容器内的气体置换；安装板与盒体侧面之间设置有第一密封圈，增加了系统的密封性；安装板的操作口的四边设置有第二密封圈，当前进板带动容器移动到操作位置时，容器与第二密封圈接触，增加了容器与安装板从操作口之间的密封性；开盒板朝向容器一面设置有第三密封圈，增加了开盒板与安装板的操作口之间的密封性；开盒部、升降部、检测部均设置在盒体内，方便维修，因此，本发明的全封闭式SMIF系统密封性能好，能够较好的避免盒体内的环境和盒体外的环境之间粉尘、气体、水蒸气等的交换。