蚀刻液及其制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN202210568533.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114752939A | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN114752939A | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | C23F1/26（2006.01）I;C23F11/16（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周志强;胡秋雨;袁明军;李治文;钟上彪;刘彬云 | 申请（专利权）人 | 广东光华科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 511400广东省广州市番禺区石楼镇创启路63号创启7号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种蚀刻液，蚀刻液包括如下组分：无机酸、氧化剂、铜缓蚀剂、助溶剂与水；其中，所述铜缓蚀剂包括含有苯磺酰胺基团的化合物与有机羧酸的混合物；所述有机羧酸的分子式为R‑COOH，R为具有2至5个C原子并且被2至4个羟基取代的烃基。该蚀刻液高效、性能稳定且反应条件温和，对铜腐蚀作用小，并且环保。 |
