一种折反汇聚光路中平面反射镜面型的测试设备及方法

基本信息

申请号 CN201910984375.9 申请日 -
公开(公告)号 CN110779461B 公开(公告)日 2021-09-21
申请公布号 CN110779461B 申请公布日 2021-09-21
分类号 G01B11/24(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 高鹏涛;张华锋;董续勇;赵建辉;王磊;何兴飞;周凤利;张熙豪;韩旭浩 申请(专利权)人 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
代理机构 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 代理人 张梦龙
地址 471026河南省洛阳市洛龙区王城大道696号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于光学性能测试领域,主要用于汇聚光路中的平面反射镜的面型测试。由于汇聚光路是光锥型的,而光学支架的内腔空间也是光锥型的;这样导致在反射镜面型测试中,干涉仪发出的平行光束无法完全覆盖整个平面反射镜尺寸;而新的测试设备,包括干涉仪[1]、标准汇聚镜头[5]、标准球[7],所述标准汇聚镜头[5]安装到干涉仪[1]上使平面光束汇聚形成汇聚光束,所述汇聚光束通过汇聚光路支架[6]形成的通道,不受到汇聚光路支架[6]的遮挡,所述汇聚光束通过平面反射镜[8]汇聚在标准球[7]上,所述标准球[7]球心与所述汇聚光束焦点重合,非常巧妙地避开了空间限制的问题。