一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置
基本信息
| 申请号 | CN201721712564.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207634655U | 公开（公告）日 | 2018-07-20 |
| 申请公布号 | CN207634655U | 申请公布日 | 2018-07-20 |
| 分类号 | F16H57/029;F16H57/04;F16H57/023;F16H57/02 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 黄昌盛;徐美婷;楼允洪 | 申请（专利权）人 | 浙江微磁精密技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州浙科专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 杭州维科磁电技术有限公司;浙江微磁精密技术有限公司 |
| 地址 | 313300 浙江省湖州市安吉县递铺街道安吉经济开发区两山高新技术工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁流体密封装置，传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，壳体上还设置有NPT卡套水接头。本实用新型水冷循环系统的设置，可有效的降低传动轴温度，确保传动轴正常工作，金属密封圈的设置，提高密封效果，ISO标准法兰的设置，便于装卸，提高工作效率。 |
