一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201811188965.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109354023B | 公开（公告）日 | 2022-01-25 |
| 申请公布号 | CN109354023B | 申请公布日 | 2022-01-25 |
| 分类号 | C01B33/035（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 沈剑;梁正;王宇光;刘明亮;李全;周晓燕;张艾民;李国华;闫炳利;柴新刚;卫维剑;孟启贵;张建五;孟国均;蔡前进 | 申请（专利权）人 | 中国化学赛鼎宁波工程有限公司 |
| 代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡拥军;糜婧 |
| 地址 | 315000浙江省宁波市宁波高新区光华路300号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、硅棒、夹套盖板、外冷却夹套和内冷却夹套构成。本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺通过在硅棒外设置双层冷却夹套，利用双层夹套之间的冷却空隙中的冷气通过在内层夹套上部开孔，将更多的冷量提供给夹套内上部，实现夹套内上下温度的均匀性，保证硅棒生长的均匀性；采用向下喷射原料气的原料气进口管强化炉内流动，有利于消除局部SiH4浓度过高的现象。 |
