一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110565052.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113290005A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113290005A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 顾辉;黄调调;李祥;李健 | 申请（专利权）人 | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 饶富春 |
| 地址 | 314000浙江省嘉兴市平湖市新仓镇广全线联盟段283号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备及其使用方法，属于硅片清洗领域；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备包括倾斜机构、箱体、往复驱动机构、打散机构以及清洗机构；通过设置倾斜机构来使箱体倾斜，箱体内液体能够集中流向收纳箱，并完成过滤和循环使用；通过往复驱动机构来控制硅片在碱抛和清洗两个工位来回运动，使得硅片每次完成碱抛后都能完成清洗，避免硅片表面上的杂质堆积没影响碱抛效果；通过设置打散机构，来实现硅片冲洗之前对其表面上的絮状胶体进行打散，便于清洗机构将絮状胶体的冲洗掉；一种具有循环过滤功能的碱抛清洗设备的使用方法包括夹持调整、倾角调整、冲洗角度调整以及碱抛清洗。 |
