一种去除单多晶硅切削液中微量水分的方法和装置

基本信息

申请号 CN201410285851.5 申请日 -
公开(公告)号 CN105214338A 公开(公告)日 2016-01-06
申请公布号 CN105214338A 申请公布日 2016-01-06
分类号 B01D15/08(2006.01)I;C10M177/00(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 曾宪伟 申请(专利权)人 江苏华研精粹新能源有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226300 江苏省南通市通州滨海新区北区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种去除单多晶硅切削液中微量水分的方法和装置,利用离心泵将含有微量水分的切削液从进料管送入内装干燥剂的干燥装置,切削液与干燥装置中的干燥剂进行充分交换后,从出料管排出含水率合格的切削液,所述干燥剂为分子筛或氧化铝微球中混入少量变色硅胶,当变色硅胶彻底变为红色时,向干燥装置中通入温度为120℃的热干空气对干燥剂进行干燥再生处理。本发明具有方法简便、装置简单、脱水效果好、干燥剂可反复再生使用、降低企业能耗等优点。