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提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺

基本信息

申请号 CN200910020634.2 申请日 -
公开（公告）号 CN101519206A 公开（公告）日 2009-09-02
申请公布号 CN101519206A 申请公布日 2009-09-02
分类号 C01B33/107(2006.01)I;B01D3/14(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 乌洪涛;齐峰全;孙东;兰文忠 申请（专利权）人 山东齐泉硅业有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 256800山东省滨州市沾化县南外环路明珠工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其利用三塔连续精馏提纯三氯氢硅和四氯化硅，将两塔设置改为三塔连续，通过调整工艺条件，使1#精馏塔塔顶气相采出为高纯三氯氢硅，液相采出为含少量三氯氢硅的四氯化硅溶液，该溶液进入2#精馏塔；2#塔塔顶将剩余的三氯氢硅和少量四氯化硅气相采出，冷凝后重回合成液中间罐，2#塔液相采出的四氯化硅和高沸硅烷进入3#精馏塔；3#塔对四氯化硅和高沸硅烷进行提纯，塔顶即为高纯的四氯化硅。本发明的工艺对产品收率、质量、应用及收益都有提高，且生产控制非常稳定，人员劳动强度大幅下降。