一种扩散推片装置
基本信息
| 申请号 | CN201721370121.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207233766U | 公开（公告）日 | 2018-04-13 |
| 申请公布号 | CN207233766U | 申请公布日 | 2018-04-13 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/22 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贾徳刚;包兵兵;李海燕;赖儒丹;牛春晓;谢章飞 | 申请（专利权）人 | 浙江众达能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 浙江众达能源科技有限公司 |
| 地址 | 315712 浙江省宁波市象山丹西街道经济开发区滨海工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散推片装置，它包括载台(1)、设于载台(1)上的两端开口的第一承载结构(3)和设于载台(1)上的第二承载结构(4)，还包括驱动装置(2)、推片机构(5)和导向结构(6)，所述驱动装置(2)位于第一承载结构(3)的远离第二承载结构(4)的一端，所述推片机构(5)的一端与驱动装置(2)的输出端连接，所述推片机构(5)的另一端靠近第一承载结构一端的开口处设置，所述导向结构(6)位于第一承载结构(3)与第二承载结构(4)之间。该扩散推片装置能够自动推片且能降低硅片崩点碎片率。 |
