一种自带聚光结构的微机电红外光源及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011631944.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112794280A | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN112794280A | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | B81B7/02;B81B7/00;B81C3/00;B81C1/00;G01N21/3504 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 张洋;荆二荣;徐德辉 | 申请（专利权）人 | 厦门烨映电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区嵩屿南二路99号1303室之820 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种自带聚光结构的微机电红外光源及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：形成第一结构层，自下而上依次包括衬底层、支撑层及黑体辐射层，衬底层中设有真空腔体，支撑层中设有通孔；形成第二结构层，其中设有聚光腔，聚光腔的内壁设有反射层；形成第三结构层，其包括滤光层；通过第一接合层键合第一、第二结构层，通过第二接合层键合第二、第三结构层，第二结构层位于第一、第三结构层之间，真空腔体、通孔及聚光腔依次连通，聚光腔的底部暴露出黑体辐射层，第三结构层封闭聚光腔的顶部开口。本发明中，聚光结构在芯片上直接集成，具有高集成度、低制造成本、高度一致性、良好封装气密性、更好的红外辐射效果的优势。 |
