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一种全固态薄膜电池中的负极材料CrN及其制备方法

基本信息

申请号 CN200710072320.8 申请日 -
公开（公告）号 CN101066843B 公开（公告）日 2010-07-28
申请公布号 CN101066843B 申请公布日 2010-07-28
分类号 C03C17/22(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01M4/58(2006.01)I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 王其冬;沈功灿;孙乾;傅正文 申请（专利权）人 宁波杉杉创业投资有限公司
代理机构 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 代理人 祖玉清
地址 315177 浙江省宁波市望春工业园区杉杉路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的是一种全固态薄膜电池中的负极材料CrN及其制备方法。溅射腔由一个涡轮分子泵和一个机械泵抽真空直到小于0.5mPa，采用金属铬作为溅射靶，氮气作为反应气体，不锈钢片和/或玻璃为基片，气体压强保持在0.2Pa-3.0Pa，溅射电源的功率为30瓦-200瓦，并且保持基片与靶之间的距离为5厘米-10厘米，基片温度为100℃-400℃，溅射沉积时间为1-20小时形成CrN薄膜。CrN薄膜是一种新型的负极材料，可应用于全固态薄膜锂离子电池。具有比容量高，循环寿命长，不可逆容量损失少等优点。