一种用于金刚石刀具修正的装置及方法

基本信息

申请号 CN201911299144.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112975597A 公开(公告)日 2021-06-18
申请公布号 CN112975597A 申请公布日 2021-06-18
分类号 B24B3/00;B24B49/00 分类 磨削;抛光;
发明人 朱秦发;库黎明;张雷;杨卫国;张文齐;李亚光 申请(专利权)人 有研半导体硅材料股份公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘秀青
地址 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于金刚石刀具修正的装置及方法。装置包括修刀砂轮、底座、驱动电机;修刀砂轮中间为中空、底部带安装卡扣,通过螺母直接固定在底座上,驱动电机驱动底座旋转同时带动修刀砂轮旋转。采用该装置进行金刚石刀具修正的方法包括以下步骤:(1)将修刀砂轮固定在底座上,使修刀砂轮完全湿润;(2)在加工中心上确定坐标系位置,确定待修正刀具底到修刀砂轮表面的距离;(3)打开驱动电机,底座带动修刀砂轮旋转,启动修刀程序,待修正刀具在修刀砂轮表面进行往复移动;(4)刀具修正完成后,进行超声清洗,煮沸去除油污和表面碎渣。通过本发明的装置及方法可以获得刀具表面的垂直度和平面度以及表面光洁度的大幅度提升改善。