首页/ 有研半导体硅材料股份公司/ 专利详情

一种用于重掺锑直拉单晶硅的掺杂装置及掺杂方法

基本信息

申请号 CN201911264374.3 申请日 -
公开（公告）号 CN112941617A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112941617A 申请公布日 2021-06-11
分类号 C30B15/04;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王万华;李超;郑沉;崔彬;李英涛;方峰 申请（专利权）人 有研半导体硅材料股份公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘秀青
地址 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于重掺锑直拉单晶硅的掺杂装置及掺杂方法。该掺杂装置由透明的石英玻璃制成，包括固定支架、盛锑的石英杯和底托；所述固定支架包括固定环和连接杆，该固定环为圆形，固定环上设有缺口，并通过该缺口插接固定在籽晶夹头上方；所述石英杯的上部为圆筒形，下部为漏斗形且由五个小漏斗构成；所述石英杯的上端开口，下端在每个小漏斗底部设有通孔；所述底托由四根圆柱形石英棒构成，各个石英棒相互对称地连接在石英杯的外壁上。本发明的掺杂装置在掺杂过程中优点在于：可以直接固定在籽晶夹头上方，不用拆装籽晶和连接器，石英杯下部有五个通孔，缩短了掺杂的时间；底托石英棒下端与石英杯下端的距离固定，提高掺杂稳定性。