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一种延长石墨坩埚使用寿命的方法

基本信息

申请号 CN201911270089.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112941618A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112941618A 申请公布日 2021-06-11
分类号 C30B15/10;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王雅楠;刘卓;盖晶虎;谢辉;姜舰;张欢;翟顺元 申请（专利权）人 有研半导体硅材料股份公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘秀青
地址 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种延长石墨坩埚使用寿命的方法，该方法包括对石墨坩埚进行以下加工设计：预先将相邻两个石墨坩埚瓣的接缝位置处的坩埚内壁加工出凹槽，在该凹槽内设置可拆卸的石墨保护条，该石墨保护的尺寸与该凹槽的尺寸匹配；石墨坩埚使用一段时间后，将石墨条取下，如有损耗，进行更换。石墨坩埚与石墨保护条的组装方式为：分别在石墨坩埚瓣侧边缘的上端位置开设插孔，所述石墨保护条的一侧具有与石墨坩埚内壁匹配的弧形面，该石墨保护条的上端向另一侧面方向突出，并在该突出的部分下端设有两个插接棒，该两个插接棒分别插入相邻两个石墨坩埚瓣上端的插孔内。本发明能够有效阻止石墨坩埚接口处的损耗，延长石墨坩埚的使用寿命。