非极性AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011017651.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111916537A | 公开（公告）日 | 2020-11-10 |
| 申请公布号 | CN111916537A | 申请公布日 | 2020-11-10 |
| 分类号 | H01L33/06(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高芳亮;杨金铭 | 申请（专利权）人 | 深圳市三航工业技术研究院 |
| 代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 深圳市昂德环球科技有限公司;深圳市三航工业技术研究院 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南九道45号西北工业大学三航科技大厦16层1611 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了非极性AlGaN基深紫外LED外延片及制备方法，所述非极性AlGaN基深紫外LED外延片包括：生长在r面蓝宝石衬底上的低温AlN层、生长在所述低温AlN层上的高温AlN层、生长在所述高温AlN层上的非掺杂a面AlGaN缓冲层、生长在所述非掺杂a面AlGaN层上的n型掺杂a面AlGaN层、生长在所述n型掺杂a面AlGaN层上的a面AlGaN多量子阱层、生长在所述a面AlGaN多量子阱层上的电子阻挡层、生长在所述电子阻挡层上的p型掺杂AlGaN薄膜，本发明所制备的非极性AlGaN基深紫外LED外延片缺陷密度低、结晶质量好，电学、光学性能佳。 |
