一种涂胶台
基本信息
| 申请号 | CN201810892007.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108745803A | 公开（公告）日 | 2018-11-06 |
| 申请公布号 | CN108745803A | 申请公布日 | 2018-11-06 |
| 分类号 | B05C13/02;B05C11/06;B05C11/10 | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 张诚;李伟;徐根;李翼 | 申请（专利权）人 | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 地址 | 410205 湖南省长沙市岳麓区麓枫路40号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种涂胶台，包括用于放置基板的涂胶平台，马达和排风扇；所述马达与所述涂胶平台固定连接，且所述马达用于驱动所述涂胶平台沿所述涂胶平台的周向方向旋转；所述排风扇位于所述涂胶平台上方，且所述排风扇的出风口朝向所述涂胶平台。上述马达会带动涂胶平台沿周向旋转，而风扇在铺展光刻胶时会向基板吹风，从而在基板表面形成具有一定风向的气流，该气流会给予光刻胶一个额外的推力，帮助光刻胶铺展，从而减少在涂布光刻胶时由于光刻胶堆积所形成的边框的宽度。 |
