一种掩膜版玻璃基板的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201810890472.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109047160B | 公开（公告）日 | 2021-03-09 |
| 申请公布号 | CN109047160B | 申请公布日 | 2021-03-09 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 李翼;李伟;徐根;张诚;周学文 | 申请（专利权）人 | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗满 |
| 地址 | 410205湖南省长沙市岳麓区麓枫路40号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掩膜版玻璃基板的清洗方法，首先通过将玻璃基板浸入浓硫酸与过氧化氢的比例的取值范围为4:1至6:1的第一SPM洗剂中去除有机物类沾污；再通过将玻璃基板浸入中性无机洗剂与碱性无机洗剂的比例的取值范围为1:4至1:6的混合液中进行超声清洗可以去除玻璃基板表面较大的颗粒以及沾污；之后通过将所述玻璃基板浸入纯水中进行超声清洗可以去除玻璃基板表面较小的颗粒；最终将玻璃基板提拉出纯水以完成干燥脱水，从而全方面的清除玻璃基板表面的各种颗粒以及沾污。 |
