一种涂胶台

基本信息

申请号 CN201821267075.6 申请日 -
公开(公告)号 CN209020706U 公开(公告)日 2019-06-25
申请公布号 CN209020706U 申请公布日 2019-06-25
分类号 B05C13/02(2006.01)I; B05C11/06(2006.01)I; B05C11/10(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 张诚; 李伟; 徐根; 李翼 申请(专利权)人 湖南普照信息材料有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 湖南普照信息材料有限公司
地址 410205 湖南省长沙市岳麓区麓枫路40号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种涂胶台,包括用于放置基板的涂胶平台,马达和排风扇;所述马达与所述涂胶平台固定连接,且所述马达用于驱动所述涂胶平台沿所述涂胶平台的周向方向旋转;所述排风扇位于所述涂胶平台上方,且所述排风扇的出风口朝向所述涂胶平台。上述马达会带动涂胶平台沿周向旋转,而风扇在铺展光刻胶时会向基板吹风,从而在基板表面形成具有一定风向的气流,该气流会给予光刻胶一个额外的推力,帮助光刻胶铺展,从而减少在涂布光刻胶时由于光刻胶堆积所形成的边框的宽度。