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一种晶棒转移设备

基本信息

申请号 CN201620831540.9 申请日 -
公开（公告）号 CN205872128U 公开（公告）日 2017-01-11
申请公布号 CN205872128U 申请公布日 2017-01-11
分类号 B62B3/04(2006.01)I;B62B3/10(2006.01)I 分类 无轨陆用车辆;
发明人 胡均海 申请（专利权）人 浙江恒都光电科技有限公司
代理机构 嘉兴海创专利代理事务所（普通合伙） 代理人 郑文涛
地址 314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路118号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶棒转移设备，转移车体上水平固定有定位板，在定位板上设置有多个定位孔，定位板的下方水平设置有支撑板，支撑板上表面与各定位孔正对的位置设置有支撑块，支撑块的上表面为支撑平面，在支撑板的下方设置有驱动机构，支撑板移动到最高处时支撑平面与定位板的上表面相平，支撑板移动到最低处时支撑平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撑板上固定有竖向设置的导向套筒，支撑板或/和定位板上固定有竖向设置的导向柱，导向柱与导向套筒活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠。该设备既能对各晶棒形成定位防止晶棒在转移过程中发生位移，也便于晶棒取放，并且支撑板的竖向移动也相对灵活顺畅。