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一种电磁驱动一维微镜

基本信息

申请号 CN201610775333.0 申请日 -
公开（公告）号 CN106249402A 公开（公告）日 2016-12-21
申请公布号 CN106249402A 申请公布日 2016-12-21
分类号 G02B26/08(2006.01)I 分类 光学;
发明人 沈文江;余晖俊 申请（专利权）人 常州创微电子机械科技有限公司
代理机构 苏州广正知识产权代理有限公司 代理人 常州创微电子机械科技有限公司
地址 213000 江苏省常州市武进区经济开发区兰香路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电磁驱动一维微镜，其特征在于，包括：基座和镜面，所述镜面通过扭转梁架设在基座上，并绕扭转梁任意角度旋转；所述镜面的一面为反射用反射面，另一面上设有用于产生输出力矩的电磁线圈。通过上述方式，本发明微镜整体结构紧凑，两块磁铁将镜面包裹，增加电磁线圈处的磁感应强度，增大驱动线圈产生的输出力矩；将反射面与驱动线圈放在不同的面上相较于将反射面与驱动线圈放在一面上，可以扩大镜面的有效尺寸，同时通过增加线圈的长度来增大驱动线圈的输出力矩，即实现大尺寸微镜的大角度偏转。