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透明导电薄膜和减反射薄膜喷涂装置及其方法

基本信息

申请号 CN99116819.4 申请日 -
公开（公告）号 CN1086158C 公开（公告）日 2002-06-12
申请公布号 CN1086158C 申请公布日 2002-06-12
分类号 B05B7/16;H01L39/24;B05D5/12 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 崔容强;周之斌;孙铁囤;周帅先 申请（专利权）人 上海交大太阳能发电和制冷工程研究中心有限公司
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 上海交通大学;上海太阳能工程技术研究中心有限公司
地址 200030上海市华山路1954号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明包括喷涂装置和喷涂方法两部分。喷涂装置：雾化容器套在或半套在隔离容器内，隔离容器的底部设置一超声波振荡器，雾化容器内有配制好的溶液经超声波振荡器雾化后由载气携带定量通过与喷嘴联接定量输出，喷嘴设置在抽气柜内，喷嘴喷出的雾化溶液，均匀地晒在衬底上。喷涂方法：将选定的化合物配制成溶液置入雾化容器，对衬底进行清洗，将加压氧气携带雾化溶液均匀喷洒在衬底上。