一种太阳能电池用硅基薄膜的低成本生产方法
基本信息
| 申请号 | CN201811255812.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109449256B | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN109449256B | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H01L31/20（2006.01）I;H01L31/028（2006.01）I;H01L31/0368（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭平 | 申请（专利权）人 | 含山县领创新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥广源知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗沪光 |
| 地址 | 201400 上海市奉贤区化学工业区目华路201号1幢904室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池用硅基薄膜的低成本生产方法，包括如下步骤：（1）衬底清洗处理、（2）薄膜沉积处理、（3）退火晶化处理、（4）冷却成型处理。本发明生产方法的工艺步骤搭配合理，整体的生产效率高、成本低，便于推广应用，生产的硅基薄膜使用品质好，性能稳定，寿命长，极具市场竞争力和生产使用价值。 |
