一种用于清洗晶圆的夹紧装置
基本信息
| 申请号 | CN202022845241.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214022501U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214022501U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B08B11/02（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭炳熙;周铁军;米艳娇 | 申请（专利权）人 | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;黄华莲 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种用于清洗晶圆的夹紧装置，包括：第一环体；第二环体，其套设在第一环体的外部；驱动机构，其用于驱动第二环体沿第二环体的轴向方向上移动；及多个支杆，支杆穿设于第一环体，且支杆的第一端与第二环体固定连接，支杆的第二端位于第一环体的内圈中，支杆的第二端具有用于夹持晶圆侧壁的夹持部。本实用新型将支杆穿过第一环体，利用第一环体作为支杆摆动的支点，当第二环体可以沿其轴向的方向上移动，带动支杆的第一端随第二环体移动，从而使支杆的第二端朝支杆的第一端移动方向的相反一侧移动，进而调整多个支杆之间的间距，以使夹持部可以夹持不同规格的晶圆，使夹紧装置具有通用性。 |
