一种液体回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202022915042.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214022247U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214022247U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郭炳熙;周铁军;米艳娇 | 申请（专利权）人 | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及液体回收技术领域，公开了一种液体回收装置，包括：清洗盘，所述清洗盘用于夹紧晶圆，所述清洗盘的侧壁设有通孔；转动机构，所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动；供液组件，所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体；第一收液盘，所述第一收液盘具有第一收液腔，所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管；第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降，以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘；及第二收液盘，所述第二收液盘具有第二收液腔，所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。本实用新型可有效避免在回收的液体中混入其它液体，实现对不同液体的精准回收。 |
