固定装置及退火炉
基本信息
| 申请号 | CN202022149314.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213680978U | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN213680978U | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | C30B33/02（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 唐勇;吴春龙;吴晓桂;刘火阳 | 申请（专利权）人 | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张向琨 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种固定装置及退火炉。固定装置用于对炉子上的温度控制装置的控温热电偶进行固定，固定装置包括支撑板和连接组件，支撑板固定在炉子的外侧，连接组件的一端固定连接于支撑板的远离炉子的一侧，另一端用于固定控温热电偶，其中，连接组件能够沿控温热电偶的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶伸入炉内的深度来调节炉内的温度。本公开的固定装置将控温热电偶固定在炉子上，有效地防止了控温热电偶相对炉子晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性。 |
