一种半导体烘箱氮气调节装置
基本信息
| 申请号 | CN201510237039.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104896908B | 公开（公告）日 | 2020-03-06 |
| 申请公布号 | CN104896908B | 申请公布日 | 2020-03-06 |
| 分类号 | F26B21/14;H01L21/67;F16K3/02;F16K3/32 | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 彭勇;王明辉;李宏图;赵从寿;陶佩;周根强;石永洪 | 申请（专利权）人 | 池州华宇电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市指南针专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 池州华钛半导体有限公司;池州华宇电子科技有限公司 |
| 地址 | 247099 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体烘箱氮气调节装置，包括箱体、前门、支架、内胆、进气接口、氮气调节阀、进气管、出气接口、出气管、风机、托盘，工作时，直线电机通过丝杠带动阀芯做直线运动，使得氮气通过氮气调节阀进入内胆与箱体之间的空腔内，由于内胆设置有氮气吹入孔，氮气通过氮气吹入孔进入内胆内部，同时风机工作，使得氮气在内胆内部由下而上经过每个半导体后被排出箱体。该装置结构简单，调节直线电机转动角度可以调剂氮气进气量，从而实现氮气进气量调节，均匀分布在内胆内壁左右两侧的氮气吹入孔使得内胆内氮气均匀分布，有效保护半导体，大大提高成品合格率，提高经济效益。 |
