切削悬浮液回收的方法
基本信息
| 申请号 | CN200610058747.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101032806A | 公开（公告）日 | 2007-09-12 |
| 申请公布号 | CN101032806A | 申请公布日 | 2007-09-12 |
| 分类号 | B24C9/00(2006.01) | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 张捷平 | 申请（专利权）人 | 华研精粹科技（北京）股份公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100083北京市海淀区学院路丁－11号西二楼1301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、悬浮液的初级过滤、悬浮液的精滤、悬浮液的浓缩干燥。本发明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基悬浮液达到与全新原料相同或相近的性能指标，并满足硅晶切片工序的使用要求，可完全替代新料的回收方法，通过该方法可以实现同一批料多次回收循环再利用的目的，不仅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅片的生产成本，而且避免了废砂浆排放给环境造成的污染。 |
