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一种压力传感器芯片及压力传感器

基本信息

申请号 CN202110397709.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112798158B 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN112798158B 申请公布日 2021-08-10
分类号 G01L1/18（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 费友健;贾永平 申请（专利权）人 江西新力传感科技有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 何世磊
地址 330000江西省南昌市新建区望城新区璜溪大道688号2栋1层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种压力传感器芯片及压力传感器，该芯片包括：衬底；压阻电路，设于衬底的上表面，包括压敏电阻及与压敏电阻连接的导电电极；第一支座，层叠于衬底的上表面，设有凹槽；第一绝缘介质层，设于衬底和第一支座之间，凹槽被第一绝缘介质层密封形成为真空腔；调制电路，调制电路与导电电极连接；输出电极，其一端连接调制电路、另一端设于压力传感器芯片的外部。本发明通过将用于感应压力信号的压阻电路和用于对压力信号进行调制的调制电路通过特定方式集成到同一芯片当中，该芯片同时具有MEMS芯片与调制芯片的功能，这样压力传感器就可以只需布置一个芯片，可以进一步缩小传感器的尺寸和成本、并提高可靠性。