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一种复合氧化物磨粒及其制备方法

基本信息

申请号	CN202111032975.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113897177A	公开（公告）日	2022-01-07
申请公布号	CN113897177A	申请公布日	2022-01-07
分类号	C09K3/14（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I	分类	染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用;
发明人	洪春水;杨雷;邹玥;李效平;蒋洪才	申请（专利权）人	永州市湘江稀土有限责任公司
代理机构	长沙市和协专利代理事务所（普通合伙）	代理人	熊晓妹
地址	426111湖南省永州市祁阳县观音滩镇祁阳经济开发区中小企业创业园内第21栋
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种复合氧化物磨粒的制备方法，该复合氧化物为CeO2‑ZrO2‑Pr6O11‑Al2O3‑SiO2复合氧化物，包括以下步骤：将氧化镨和氧化铈分别溶于硝酸中；将Ce、Zr、Pr、Al的硝酸盐溶解在去离子水中，加入SiCl4溶液，加入表面活性剂，稀氨水滴加到混合溶液中，调整pH值8时停止滴加，继续搅拌2h后常温下陈化72小时；将混合物过滤分离后干燥8h；将制备的沉淀物在空气下700‑900℃焙烧2h即得。本发明方法制得的五元复合氧化物能够结合多种磨粒的综合性能，既能提高抛光速率，又能够增加化学机械抛光的均匀性，五元材料互相复合，不可避免会使一些成分进入另一些成分的晶格，在一定范围内，增加了磨粒氧化物的晶格缺陷，采用本发明方法不仅提高化学活性，又改善磨粒的抛光性能。