首页/ 强一半导体（苏州）股份有限公司/ 专利详情

防探针脱落的薄膜探针头及薄膜探针卡

基本信息

申请号 CN202220033173.3 申请日 -
公开（公告）号 CN217007577U 公开（公告）日 2022-07-19
申请公布号 CN217007577U 申请公布日 2022-07-19
分类号 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/073（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 于海超;赵梁玉;周明 申请（专利权）人 强一半导体（苏州）股份有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种防探针脱落的薄膜探针头及薄膜探针卡，该防探针脱落的薄膜探针头，包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在所述作用面（311）上的薄膜（32）、设置于薄膜（32）内的互连线（34）以及突出于薄膜（32）表面的探针（33）；所述探针（33）包括针座（331）和针尖（332）；其特征在于：所述针座（331）的外周上突出有一卡嵌阻挡部（3311），该卡嵌阻挡部（3311）埋嵌于薄膜（32）内，其卡嵌阻挡部（3311）底面至薄膜（32）表面具有一距离（A）。本实用新型有效防止了加工过程和使用过程中探针与薄膜层相分离（即探针脱落）。