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一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法

基本信息

申请号 CN202210106619.5 申请日 -
公开（公告）号 CN114487780A 公开（公告）日 2022-05-13
申请公布号 CN114487780A 申请公布日 2022-05-13
分类号 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 于海超;徐兴光;周培清 申请（专利权）人 强一半导体（苏州）股份有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种垂直式MEMS直针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、平移结构、锁止结构、垫手结构、滑轨结构、定位导向结构、视觉检测结构；插针装置被配置成，在工作位置、所述滑轨结构带动所述垫手凸台移动到探针卡上面时，所述第一高度始终小于所述第二高度，所述垫手凸台至少部分覆盖在所述探针卡的正上方。本方案依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了MEMS直针在插针时能确保上盖板、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，其成本低、精度高、结构巧妙，确保MEMS直针这种具有特殊结构探针的插针成品率。