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半导体探针卡自动插针方法、装置、计算机和存储介质

基本信息

申请号 CN202210114180.0 申请日 -
公开（公告）号 CN114460431A 公开（公告）日 2022-05-10
申请公布号 CN114460431A 申请公布日 2022-05-10
分类号 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G06T7/70（2017.01）I 分类 测量；测试;
发明人 于海超;徐兴光 申请（专利权）人 强一半导体（苏州）股份有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种半导体探针卡自动插针方法、装置、计算机设备和存储介质，方法包含匹配探针与探针卡孔位、插入探针、探针卡位置调整以及插针执行，在探针卡位置调整步骤中，可通过控制探针卡位移抖动来调整探针与探针卡位置的后使探针往下落；装置包括上料模块、探针卡放置模块、探针卡抖动模块、第一位置信息获取模块、探针抓取模组、第二位置信息获取模块、PC控制模块。本发明使用探针卡插针装置，自动识别探针，控制机械手抓取探针并且自动调整探针位置放入探针卡孔位中，通过控制探针卡位移抖动，上下、左右、前后微位移抖动，使没有完全进入探针卡孔位的探针振动进探针卡中，代替人手工插卡，节省人力、提高效率，保证产品质量。