一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202210430093.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114740334A | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN114740334A | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G01R27/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 苏鹏;梁宇峰;宋海永 | 申请（专利权）人 | 强一半导体（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法，该装置包括机台，该机台上安装有待测探针卡，待测探针卡包括针脚和PAD点；待测探针卡下方设有金属导电面；待测探针卡上方设有母板，母板上设有多个触点；可拆卸地设有通道转接板，通道转接板上有第一转接区域和第二转接区域，分别设有第一转接点、第二转接点；机台上设有第一机械手和第二机械手，分别设有第一采集器、第二采集器，第一采集器和第二采集器的下表面均设有多个采集点；金属导电面在上表面可拆卸地设有一绝缘板；还包括欧姆表。该测试装置及测试方法能够在采集器采集点数量较少的情况下，实现对较多通道数量探针卡的电性检测，节约了设备成本和人力成本。 |
