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一种Cobra探针插针装置及其插针方法

基本信息

申请号	CN202210107115.5	申请日	-
公开（公告）号	CN114527369A	公开（公告）日	2022-05-24
申请公布号	CN114527369A	申请公布日	2022-05-24
分类号	G01R31/28（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	于海超;徐兴光;周培清	申请（专利权）人	强一半导体（苏州）股份有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	-
地址	215000江苏省苏州市工业园区东长路18号39幢2楼
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种Cobra探针插针装置及其插针方法；插针装置包括上固定结构、下固定结构、第一空间位移机构、第二空间位移机构、定位导向结构、视觉检测结构；所述插针装置被配置成在插好探针的所述下盖板位于所述第二工作位置、所述上盖板位于所述第一初始位置时，所述上盖板上的上探针孔与所述探针的针尾一一垂直对应，所述上盖板上的导向孔与所述下固定结构上的导向柱一一垂直对应。本发明依靠结构简单但是可靠性、精度极高的机械结构，来实现了Cobra探针在插针前能确保上盖板、下盖板稳定、无偏移得分开，不会发生弯针、重复对位、效率低下等问题，成本低、精度高，确保Cobra探针这种具有特殊结构探针的插针成品率，适用性广。